(1)水汽引起設備化學腐蝕。在常溫下SF6氣體穩定性極好，當溫度低于500℃時一般不會自行分解，但當SF6氣體中含有水汽時，溫度高于200℃就可能產生水解反應，生成HF和S02，SF6氣體在電弧作用下發生自分解反應，與水汽發生反應產生腐蝕性HF、H2S03，使設備內部零件的表面腐蝕。
    (2)化學反應產物固體粉塵，會降低滅弧室擊穿電壓。在電弧作用下，SF6氣體與電極材料金屬銅和鎢蒸氣發生反應，生成金屬氟化物和低氟化物，與水汽反應生成物W03和CuF2呈粉末狀態沉積在滅弧室內。粉塵若沉積在電極表面將會降低滅弧室擊穿電壓。
    (3)水汽的存在會降低絕緣子表面閃絡電壓。SF6氣體本身含有一定的水汽，設備密封處也會滲入水汽。除了使固體絕緣子的絕緣強度降低外，還會因溫度降低時，可能在設備內部結露，附著在絕緣子和設備內零件表面，大大降低絕緣子表面的閃絡電壓。